Keď chemik alebo elektrikár chce zmeniť chemické a fyzikálne vlastnosti povrchu integrovaného obvodu oplátky , to je známe ako spracovanie plazmy . Jednou z foriem tohto spracovania sa nazýva plazmové leptanie , ktorý používa dútnavkou výboj ( známy ako plazma ) z určitého plynu . Vypúšťanie je prepustený ako pulzy v prúde vysokou rýchlosťou priamo na vzorke obvode . Zdroj plazmy , známe ako leptanie druhov , môže mať jednu z dvoch charakteristík – nabitý , ktoré sú klasifikované ako ióny alebo neutrálne , ktoré sa skladajú z atómov a radikálov . Na začiatku spracovania etch , bude vypúšťanie je prenášaný na obvode vytvoriť zvyšok prchavých leptanie v dôsledku chemickej reakcie medzi leptaného materiálu a druhy s leptanou vytvorené plazmy . Fyzikálne a chemické vlastnosti obvodu prípadne sa zmení aj atómy od prúdu plazmy pripojiť alebo preniknúť na povrch . V závislosti na plyn , ktorý sa používa k prúdu plazmy , plazmové leptanie polyméru môže tvoriť ako zvyšku po process.Things budete potrebovať
Integrované obvody oplátky
Plasma etch polyméru remover ( PRX – 127 ) klipart heavy – duty ochranné rukavice
chirurgické masky
ochranné okuliare alebo okuliare
sťahovacie nádrže
deionizovanej ( DI ) vody oplachovanie nádrže
Spin vlasov alebo spin – oplachovanie vlasov
Zobraziť viac pokyny dovolená 1
Plazmové leptanie polymér bude pravdepodobne tvoriť po použití plazmového spracovania etch s fluórovaných uhľovodíkov na báze plynov , napríklad oxidu hydrotrifluoride a oktafluorpropanem . Tieto plyny vytvárajú nenasýtených zlúčenín v plazme , ktoré sú potom prevedené do integrovaného obvodu doštičiek . Tieto musia byť odstránené , aby na ďalšie spracovanie plazmy pokračovať .
2. Dbajte na zvýšenú opatrnosť okolo nebezpečných chemikálií .
Plazmové leptanie polyméru odstraňovač , známy ako PRX – 127 , je chemická zlúčenina zložená z prvkov éteru , sulfoxidové a hydroxid , a je extrémne nebezpečné dýchať , alebo dotyk . Odporúča sa , aby pred použitím tohto výrobku , je potrebné nosiť rukavice , okuliare a masky . Ponorenie proces mokré lavice je jedným zo spôsobov , ako zvládnuť bezpečnejšie túto zlúčeninu , a vyžaduje len veľmi málo fyzickej interakcie .
3
Naplňte dve vyzliekanie nádrže , ktoré sú určené špeciálne pre mokré lavice spôsob s roztokom PRX – 127 a Zahreje sa na teplotu 70 až 90 stupňov Celzia . Umiestnite príslušného obvodu doštičky opatrne do jednej z nádrží pomocou ochranné rukavice . Oblátky by mali zostať v roztoku po dobu najmenej piatich minút , ale nie dlhšie ako 20 minút pre optimálny účinok . Mechanické alebo sonic Metóda založená na miešanie sa neodporúča počas prvého kúpeli .
4
Preneste oblátky z prvej oddestilovaním nádrže do druhej , akonáhle kúpeľ cyklus je kompletný , a znovu namočte doštičiek pre päť 20 minút bez ďalšieho miešania . Táto druhá kúpeľ sa odstráni existujúce vrstvy polyméru pod zvyšku na povrchu plátku .
5 deionizovaná voda je úplne čistá voda , bez ďalších minerálov .
Odstráňte oblátky z roztoku PRX – 127 a preniesť ich na tretej nádrži naplnené SVC – 300 plákanie , roztok , ktorý sa používa predovšetkým na odstraňovanie laku . Je to celkom bezpečné použitie , pretože je netoxický a nehorľavý a nepoškodzuje doštičiek . Oblátky by mali zostať v tomto roztoku po dobu dvoch až troch minút . Preneste oblátky na konečné riešenie – deionizovanej vody – vnútri splachovacie nádrže pre šesť až osem cyklov a potom použiť odstreďovanie vlasov alebo spin – opláchnutie vlasov , aby sa odstránili všetky zvyšky roztoku . Oblátky by mali byť úplne bez polymérov , a sú teraz v bezpečí , aby sa znovu použiť pre ďalšie plazmové vyrytý spracovanie .